Литографска машина Машина за подравняване на маски за фотоецване
Представяне на продукта
Източникът на светлина за експозиция приема внесен UV LED и модул за оформяне на източник на светлина, с малка топлина и добра стабилност на източника на светлина.
Обърнатата осветителна структура има добър ефект на разсейване на топлината и ефект на затваряне на източника на светлина, а подмяната и поддръжката на живачната лампа са лесни и удобни. Оборудван с бинокулярен микроскоп с двойно поле с голямо увеличение и 21-инчов широкоекранен LCD, той може да бъде визуално подравнен чрез
окуляр или CCD + дисплей, с висока точност на центриране, интуитивен процес и удобна работа.
Характеристики
С функция за обработка на фрагменти
Изравнителното контактно налягане осигурява повторяемост чрез сензор
Междината на подравняване и междината на експозицията могат да се задават цифрово
Използване на вграден компютър + работа със сензорен екран, просто и удобно, красиво и щедро
Плоча с издърпване нагоре и надолу, проста и удобна
Поддържа излагане на контакт с вакуум, излагане на твърд контакт, излагане на контакт с натиск и излагане на близост
С интерфейсна функция нано отпечатък
Еднослойна експозиция с един ключ, висока степен на автоматизация
Тази машина има добра надеждност и удобна демонстрация, особено подходяща за преподаване, научни изследвания и фабрики в колежи и университети
Повече подробности
Спецификация
1. Зона на експозиция: 110 mm × 110 mm；
2. ★ Дължина на вълната на експониране: 365nm;
3. Разделителна способност: ≤ 1m;
4. Точност на подравняване: 0.8m;
5. Диапазонът на движение на сканиращата маса на системата за подравняване трябва да отговаря най-малко на: Y: 10 mm;
6. Лявата и дясната светлинна тръба на системата за подравняване могат да се движат отделно в посоки X, y и Z, посока X: ± 5 mm, посока Y: ± 5 mm и посока Z: ± 5 mm;
7. Размер на маската: 2,5 инча, 3 инча, 4 инча, 5 инча;
8. Размер на извадката: фрагмент, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Подходящ за дебелина на пробата: 0,5-6 мм и може да поддържа най-много 20 мм проби (персонализирани);
10. Режим на експозиция: тайминг (режим на обратно броене);
11. Неравномерност на осветлението: < 2,5%;
12. Микроскоп за подравняване на CCD с двойно поле: вариообектив (1-5 пъти) + обектив на микроскопа;
13. Ходът на движение на маската спрямо образеца трябва да отговаря най-малко на: X: 5 mm; Y: 5 mm; : 6º;
14. ★ Плътност на енергията на експозиция: > 30MW / cm2,
15. ★ Позицията на подравняване и позицията на експозиция работят в две станции, а серво моторът на двете станции се превключва автоматично;
16. Изравняващо контактно налягане осигурява повторяемост чрез сензор;
17. ★ Междината на подравняване и междината на експозицията могат да бъдат зададени цифрово;
18. ★ Има интерфейс с нано отпечатък и интерфейс за близост;
19. ★ Работа със сензорен екран;
20. Габаритни размери: Около 1400 мм (дължина) 900 мм (ширина) 1500 мм (височина).
